國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，山東粵海金半導(dǎo)體科技有限公司取得一項(xiàng)名為“種專用的碳化硅襯底Wafer倒角裝置”的專利，授權(quán)公告號(hào)CN 221871414 U，申請(qǐng)日期為2024年3月。
專利摘要顯示，本實(shí)用新型公開了一種專用的碳化硅襯底Wafer倒角裝置，涉及碳化硅等超硬脆性材料加工技術(shù)領(lǐng)域，包括底座、砂輪和晶片驅(qū)動(dòng)組件，還包括砂輪驅(qū)動(dòng)組件和檢測(cè)組件，砂輪驅(qū)動(dòng)組件位于晶片驅(qū)動(dòng)組件的后側(cè)，其包括主砂輪電機(jī)、主旋轉(zhuǎn)軸、整體旋轉(zhuǎn)電機(jī)、安裝座、X軸移動(dòng)件和Y軸移動(dòng)件；砂輪安裝在主砂輪電機(jī)的輸出軸上，主砂輪電機(jī)通過(guò)連接板與主旋轉(zhuǎn)軸相連，二者垂直設(shè)置；主旋轉(zhuǎn)軸縱向設(shè)置，整體旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在安裝座上，其輸出軸與主旋轉(zhuǎn)軸傳動(dòng)連接；安裝座通過(guò)X軸移動(dòng)件和Y軸移動(dòng)件移動(dòng)；本裝置通過(guò)砂輪驅(qū)動(dòng)組件可實(shí)現(xiàn)自由設(shè)計(jì)倒角形狀，可完成所需磨角動(dòng)作；本裝置可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)在線檢測(cè)、動(dòng)態(tài)調(diào)整，連續(xù)修磨倒角至完全達(dá)到設(shè)計(jì)形狀的技術(shù)要求。