華工科技半導體激光裝備產業創新聯合實驗室啟動

 12月24日，華工科技半導體激光裝備產業創新聯合實驗室啟動儀式在華工激光舉行。聯合實驗室是武漢市首批10家聯合實驗室之一，以半導體關鍵制程激光裝備落地應用為目標，著力攻克產業重大關鍵核心技術，開發出半導體晶圓激光加工、檢測裝備等產業鏈關鍵制程激光裝備，并實現批量應用。未來，聯合實驗室將建設成為全國一流的半導體激光裝備研發平臺，可全方位提升國產半導體激光裝備的性能與競爭力，推動武漢激光產業升級換代，助力搭建完整的武漢市半導體產業鏈。