2025年1月6日，北方華創（002371）第1000臺立式爐正式出廠。這一成就不僅標志著公司立式爐產品取得飛躍性進展，更體現了中國集成電路設備制造實力的顯著提升。
立式爐作為集成電路制造的關鍵設備，主要用于前道氧化、擴散和退火等熱處理工藝，直接影響了半導體器件的性能。同時，立式爐可批量處理晶圓，提高生產效率，在當前集成電路生產中占據越來越重要的位置。據SEMI數據顯示，2024年立式爐全球市場規模已達32億美元，預計未來幾年將繼續保持穩健增長。
2010年，北方華創首臺立式爐交付客戶。十余年內，北方華創立式爐通過客戶端嚴格驗證，實現大規模量產，廣泛覆蓋邏輯、存儲、功率、先進封裝及大硅片生產等關鍵領域，獲得客戶高度贊譽。2020年，北方華創第100臺立式爐交付。2023年6月，第500臺立式爐交付，僅1年零6個月后，第1000臺立式爐正式交付。千臺立式爐的成功出廠，體現了“華創速度”，是北方華創技術革新與品質堅守的有力見證，更是中國半導體設備制造業邁向世界前列的堅實一步。
北方華創立式爐的成功，得益于公司在技術層面的不斷創新和突破。立式爐設備以高精度的溫度控制能力，良好的成膜均勻性，以及先進的金屬及顆粒污染控制技術，大幅提升了芯片良品率。近年來，北方華創還開發了一系列立式爐新技術，進一步鞏固自身在行業中的技術領先地位。2024年，北方華創發布等離子體增強氮化硅原子層沉積立式爐（型號：DEMAX SN302P），深受邏輯與存儲領域頭部客戶的青睞；同年發布了間隙填充氧化硅原子層沉積立式爐（型號：DEMAX SN302T），成為3D NAND閃存生產的關鍵設備。此外，300mm立式氧化爐（型號：THEORIS X302P）自2017年進入高端 3D NAND生產線后，憑借先進的自動化、穩定性和技術指標，屢獲批量訂單，成為客戶首選。
展望未來，北方華創將秉持銳意進取的精神，在集成電路設備的新征程中領航破浪，以卓越品質致敬未來。
（來源： 北方華創官微）