?2月9日，中國電科官方宣布，其所屬的48所成功實現第三代半導體SiC外延設備的首次大規模批量發貨，共計30臺套。這一突破標志著中國在第三代半導體設備領域取得重要進展，也為全球半導體產業注入了新的活力。
SiC（碳化硅）外延設備是第三代半導體器件制造的核心關鍵設備之一。與傳統的硅基半導體相比，SiC材料具有耐高溫、耐高壓和高導電性等優勢，廣泛應用于新能源汽車、5G通信、航空航天等領域。
然而，由于技術門檻高、設備復雜，SiC外延設備的研制和產業化一直是全球半導體領域的難題。中國電科48所歷時多年，攻克了多項關鍵技術，成功實現了SiC外延設備的自主研發和量產。
此次發貨的30臺套設備不僅在國內實現了首次大規模批量交付，而且已累計出貨百余臺套，并在客戶現場穩定運行。這一成績的取得，標志著中國在第三代半導體設備領域已具備較強的國際競爭力。
此外，中國電科48所還注重設備的智能化和自動化設計，引入了先進的AI算法，實現了設備運行狀態的實時監測和優化控制。這些創新不僅提升了設備的生產效率，還大幅降低了設備的維護成本，為用戶提供了更高的性價比。