天眼查顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司“上電極裝置及半導體工藝設備”專利公布，申請公布日為2024年12月31日，申請公布號為CN119230366A。
本發明公開了一種上電極裝置及半導體工藝設備，上電極裝置包括：進氣結構，貫穿腔室蓋板設置，并與腔室蓋板活動密封連接，用于向工藝腔內通入工藝氣體；第一調節機構，包括至少一個第一位移導向組件，第一位移導向組件與進氣結構的位于腔室本體外的一端連接，用于在進氣結構沿第一水平方向移動時對進氣結構進行導向；第二調節機構，包括至少一個第二位移導向組件，第二位移導向組件與進氣結構的位于腔室本體外的一端連接，用于在進氣結構沿第二水平方向移動時對進氣結構進行導向，其中，第一水平方向與第二水平方向相交。本發明可提高上電極進氣結構與晶圓之間同軸度調節的可控性和便利性。