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中科飛測“轉換關系獲取方法、檢測方法和相關設備”專利公布

發表于:2025-05-13 來源:半導體產業網 編輯:

 天眼查顯示,深圳中科飛測科技股份有限公司“轉換關系獲取方法、檢測方法和相關設備”專利公布,申請公布日為2025年2月14日,申請公布號為CN119413092A。

一種轉換關系獲取方法、檢測方法和相關設備,所述轉換關系獲取方法包括:提供探測部件,探測部件能夠繞預設的旋轉軸進行旋轉;提供標定物,標定物具有特征點;在探測部件繞旋轉軸旋轉之前,通過探測部件對標定物進行檢測,獲取特征點在第一坐標系下的第一特征點坐標;在探測部件繞旋轉軸旋轉之后,通過探測部件對標定物進行檢測,獲取特征點在第一坐標系下的第二特征點坐標;根據第二特征點坐標,獲取探測部件繞旋轉軸的旋轉角度;根據旋轉角度對第二特征點坐標進行矯正,獲取特征點在預設的第二坐標系下的第三特征點坐標;根據第一特征點坐標與第三特征點坐標,獲取第一坐標系與第二坐標系之間的轉換關系。本發明技術方案能夠提高檢測精度。

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