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晶合集成獲得發(fā)明專利授權(quán):“半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法”

發(fā)表于:2025-05-28 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

 證券之星消息,根據(jù)天眼查APP數(shù)據(jù)顯示晶合集成(688249)新獲得一項發(fā)明專利授權(quán),專利名為“半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法”,專利申請?zhí)枮镃N202510153323.2,授權(quán)日為2025年5月27日。

專利摘要:本公開涉及一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法,在第一溝槽的底部形成第一摻雜區(qū)之后,在第一摻雜區(qū)上形成具有傾斜側(cè)壁的第一填充層,傾斜側(cè)壁從第一溝槽的槽口向槽底逐漸延伸,向傾斜側(cè)壁注入第一離子,在傾斜側(cè)壁形成第二摻雜區(qū),第二摻雜區(qū)從第一溝槽的槽口向槽底逐漸延伸,然后沉積第二填充層覆蓋第二摻雜區(qū)并填充第一溝槽,在第二填充層的頂部形成第三摻雜區(qū),然后熱退火將第一摻雜區(qū)、第二摻雜區(qū)、第三摻雜區(qū)的第一離子向第一填充層、第二填充層中推進(jìn)擴散,以在第一溝槽中形成半導(dǎo)體摻雜層,第二摻雜區(qū)增加了第一離子的擴散均勻性,半導(dǎo)體摻雜層的第一離子均勻分布,半導(dǎo)體摻雜層的整體電阻小,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的電性能更好。

今年以來晶合集成新獲得專利授權(quán)150個,較去年同期增加了7.14%。結(jié)合公司2024年年報財務(wù)數(shù)據(jù),2024年公司在研發(fā)方面投入了12.84億元,同比增21.41%。

數(shù)據(jù)來源:天眼查APP

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