2021年中國大陸已成為全球最大的芯片設備市場，占全球市場的份額接近三成，超過韓國和中國臺灣，中國芯片制造設備的國產化也在加速推進并取得了顯著的成績。
統計數據顯示2021年中國采購了296億美元的芯片制造設備，占全球市場的份額達到28．8％；位居第二名的韓國采購了250億美元的設備，第三名的中國臺灣采購了249億美元的設備。
隨著中國加速擴張芯片產能，中國的芯片制造設備國產化計劃也在快速推進，2021年中國采購的芯片制造設備占比已達到27％，比2020年的16．8％大幅提升，這顯示出在國產芯片制造產業鏈的努力下，國產化已取得了長足進展。
但是當前的芯片制造國產化也存在遺憾，那就是實現國產化的主要是芯片制造的外圍設備，諸如刻蝕機、清洗設備等，這些外圍設備的國產化率已超過四成，富士康從上海微電子采購的40多臺光刻機其實也是外圍設備，屬于封裝光刻機，用于芯片生產后期的封測。
至于用于芯片生產的光刻機，雖然28nm國產光刻機已宣傳多時，但是始終未能得到明確的消息，不知是否有國產芯片制造企業采用了國產的28nm光刻機，這方面拖累了芯片制造設備國產化。
中國正在加速推進芯片制造產能擴張，極力提升芯片國產化率，而芯片制造無疑是芯片國產化的最大短板，當前芯片制造國產化率存在的上述情況是由于種種原因造成的。
當前芯片國產化主要還是基于成熟工藝，在先進工藝方面推進較為緩慢，由此芯片制造國產化所采用的設備都是28nm乃至更落后的光刻機，但是即使是這類光刻機，光刻機巨頭ASML也遠遠無法滿足，由此國產芯片制造企業不得不大舉采購二手光刻機，2021年的數據顯示由于中國大舉采購二手光刻機，日本的二手光刻機價格猛漲三倍，顯示出國內芯片制造企業的無奈。
當然國產芯片制造設備在外圍先加速國產化也并非沒有意義，畢竟培育一條完善的芯片制造產業鏈并不容易，ASML雖然貴為全球最大的光刻機企業，但是它的光刻機同樣高度依賴全球芯片制造產業鏈，需要從日本、美國以及歐洲本土采購相關的元件，中國的芯片制造產業鏈先從外圍實現國產化，然后逐步向核心推進也是穩妥的辦法。
中國在短短一年多時間將芯片制造國產化率從16．8％提升至27％已經是一個相當了不起的成就，畢竟強如韓國這樣的芯片制造大國，此前也曾因日本暫停供應光刻膠而受阻，但是隨后韓國集中科研力量迅速解決光刻膠問題，結果讓日本遭受重大損失，這說明芯片制造的外圍設備等實現國產化率的重大意義。