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IFWS 2023│高通量方法輔助篩選和預(yù)測(cè)半導(dǎo)體界面結(jié)構(gòu)——以β-Ga2O3 /AlN 界面為例

發(fā)表于:2023-12-06 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

 近日,第九屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS)&第二十屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA)在廈門(mén)國(guó)際會(huì)議中心召開(kāi)。期間,“超寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)分會(huì)“上,武漢大學(xué)馮嘉仁分享了“高通量方法輔助篩選和預(yù)測(cè)半導(dǎo)體界面結(jié)構(gòu)——以β-Ga2O3 /AlN 界面為例”的主題報(bào)告。

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功率電子器件廣泛應(yīng)用于電能傳輸變換各個(gè)環(huán)節(jié),在各大電能相關(guān)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。高性能功率電子器件可以降低電能傳輸變換過(guò)程中損耗,助力“雙碳”目標(biāo)。氧化鎵是一種多變的半導(dǎo)體材料,它有六種不同的晶相,其中最穩(wěn)定的是β相。β相氧化鎵可以通過(guò)熔融法生長(zhǎng)出大尺寸的單晶襯底,這對(duì)于制作高性能的功率器件非常有利,其研究備受關(guān)注,也面臨著β-Ga2O3材料界面建模等挑戰(zhàn)。

報(bào)告以β-Ga2O3 /AlN 界面為例,分享了高通量方法輔助篩選和預(yù)測(cè)半導(dǎo)體界面結(jié)構(gòu)的研究成果,涉及界面結(jié)構(gòu)預(yù)測(cè)、界面篩選、界面批量生成、界面穩(wěn)定性討論、能帶對(duì)齊等內(nèi)容。研究開(kāi)發(fā)了半導(dǎo)體界面結(jié)構(gòu)高通量搜索軟件包(IPG),以Ga2O3 /AlN界面為例驗(yàn)證軟件功能,從70862440個(gè)構(gòu)型中,搜索出若干晶面的界面結(jié)構(gòu),電子結(jié)構(gòu)、能帶對(duì)齊分析與實(shí)驗(yàn)值吻合,IPG軟件包具有普適性(金屬/半導(dǎo)體界面、介質(zhì)/半導(dǎo)體界面), 為電子器件的高效設(shè)計(jì)提供了理論支撐,加速材料設(shè)計(jì)。

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